曝光光刻机、纳米压印设备、电子束蒸发镀膜机、反应离子束刻蚀系统等先进的微加工设备,以及扫描电子显微镜、显微共聚焦光谱测试系统、低温强磁场光学近场显微系统、飞秒激光器、半导体参数测试系统等光学测试设备,可以完成微纳器件的光电性能的综合测试
北京市
等。中心现有80多台各种微机电工艺设备,如AMS 200深硅等离子体刻蚀系统、ICP-2B刻蚀机、AWB04键合机、MA6/BA6 Karlsuss双面光刻机和键合机、POLI-400化学机械抛光机、WL2040铝丝压焊机、OPTI
福建省微纳米 纳米
和学术交流。拥有先进的计算机工作站和高档微机200余台,配备有二百多套国际先进的最新版本软件:如NX,I-DEAS,Catia,Cimatron,Pro/E,SolidEdge,Esprit,SolidWorks,Surfacer;Marc
模具CAD
研究 。 实验室建设了“精密量子输运”、“精密光学测量”、“扫描隧道显微学”、“材料生长与微器件加工”、“理论与计算模拟中心”和“超导技术研发中心”6个研究平台。实验室拥有电子束曝光机、超低温扫描隧道显微镜、低温扫描隧道显微镜、双频刻蚀系统、透射
进出口产品的微生物、理化参数、农兽药残留等领域的分析检测,确保产品符合健康、安全、卫生等要求。 进出口产品检测 微生物检测 理化检测 农兽药残检测 实验室现有主要仪器设备90台(套),总价值三百余万元,其中十万元以上设备九台:自动
山东省
5.系统封装与集成技术 研究室是我校微米/纳米技术研究中心主要组成单位之一,拥有超净实验室和系列微纳器件与材料制造设备,包括常规CMOS设备、双面光刻机、感应耦合等离子刻蚀机(ICP)、真空键合机
领域人才培养的重要基地,近五年培养出150余名硕士,80余名博士。 实验室具有良好的研究设备和条件,实验室面积约2000余平米,其中超净实验室200余平米,拥有GaN专用MOCVD设备,ZnO专用MOCVD设备,激光MBE
辽宁省
。 实验室共有70多台价值10万元人民币(或2万美元)以上的大型设备,包括卧式加工中心MAHO MC50 ,三座标测量机ZEISS CMM ,电子束光刻机,原子力显微镜,深干法刻蚀机,微米三维X射线成像系统,多靶材溅射系统,SUN4/60
陕西省
和前沿高技术探索,取得了一批高水平研究成果,引领带动我国相关领域研究进入世界前列,主要包括:τ轻子质量的精确测量;2-5GeV能区强子反应截面(R值)测量;发现带电类粲偶素Zc(3900);发现新的中微子振荡模式,精确测量中微子混合参数
北京市高能物理 粒子物理
“985工程”的支持下,由北京大学纳米器件物理与化学教育部重点实验室具体承建,2008年初投入使用。超净使用面积约400平方米,配备光刻、镀膜、刻蚀以及光、电测量等基本微纳加工和测量必需公用设备,为各院系相关科研工作顺利开展、进一步提高科学研究水平,为北大相关的研究人员争取国家项目创造条件。
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